国内7家光刻胶企业上半年成绩单

在嗮国内7家光刻胶企业成绩单前先看一则阿斯迈尔光刻机动态：

ASML 准备交付第一台高 NA 极紫外光刻机

ASML 计划在今年内交付第一台 数值孔径（NA）的极紫外（EUV）光刻机。这台光刻机主要用于开发目的，帮助客户熟悉新技术和功能。高 NA 极紫外光刻机商业使用预计要到 2025 年之后。数值孔径（NA）用以衡量光学系统能够收集的光的角度范围，它描述了物镜收光锥角的大小，而后者决定了显微镜收光能力和空间分辨率。 NA 对应的光刻分辨率 8nm。ASML 没有披露首位高 NA 极紫外光刻机的客户名字，但推测就是英特尔。英特尔此前透露它的 18A 工艺节点将使用高 NA 光刻机，由于时间表提前而采用其它方案，但它可能会在 18A 工艺节点的后期使用高 NA EUV 光刻机。这些光刻机价格不菲，预计超过 3 亿美元，将进一步加大先进晶圆厂的制造成本。

(资料图片)

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7家光刻胶企业上半年成绩单：多家企业光刻胶新品进入验证阶段

在半导体领域，2019-2022年中国大陆半导体光刻胶市场规模保持良好的增长态势。2022年消费领域的芯片受到供应链危机缓解及库存消化的影响，产能利用率下降。反观8寸及12寸硅晶圆因汽车、工业、物联网以及5G建设的驱动而呈现需求上升的局面。根据势银（TrendBank）调研统计分析，2023年中国大陆半导体光刻胶市场规模预计达到亿元，同比增长%，增速将有所放缓。

图：2019-2023年中国大陆半导体用光刻胶市场规模（亿元）

来源：势银《光刻胶及原料产业最近进展与趋势》报告

在显示领域，2022年中国大陆面板市场低迷。受此影响，2022年显示用光刻胶市场规模有所下滑，整体市场情况将在2023年获得改善。根据势银（TrendBank）统计预测分析，2023年中国大陆显示用光刻胶市场规模达到亿元，同比增长%。

图：2019-2023年中国大陆显示用光刻胶市场规模（亿元）

来源：势银《光刻胶及原料产业最近进展与趋势》报告

目前，国内光刻胶企业正加快光刻胶产品的研发验证导入步伐。截止8月底，7家涉及光刻胶板块的上市企业都已发布半年报，业绩情况如下——

整理上述7家企业半年报信息，一文了解各厂商具体进展。

受半导体市场下降影响，2023年上半年半导体光刻胶实现销售收入8258万元，得益于胶成熟产品的持续放量以及新产品的增加，KrF光刻胶依然保持着较快的增速达到%。I线光刻胶方面，ICA光刻胶开始放量，增长率达到%。

2023年上半年，北旭电子实现销售收入亿元，同比下降%；面板光刻胶产品销量同比增长%，国内市占率约为%。报告期内，公司的一款4-Mask高感度光刻胶新品出货持续增加中。针对AMOLED面板客户开发的高性能的高分辨率光刻胶分辨率达到μm、μm，已在客户完成阶段性批量验证。同时，有机膜产品、高耐热光刻胶、低温光刻胶也在研发和客户测试中。

在树脂产品上，上半年液晶面板Array half-tone光刻胶酚醛树脂量产成功；高分辨率光刻胶酚醛树脂进入量产产品已经在液晶面板产线测试；OLED光刻胶酚醛树脂进入开发阶段；多个G/I线酚醛树脂处于中试/大试阶段；先进I线光刻胶酚醛树脂、lift off负胶酚醛树脂研发取得阶段性进展。

在项目建设上，报告期内年产万吨半导体、平板显示用光刻胶及2万吨相关配套试剂项目也已经部分建设完成。

报告期内，瑞红苏州实现营业收入11,万元，同比减少%；实现归属于挂牌公司股东的净利润1,万元，同比减少%。

瑞红苏州表示，净利润同比下滑较多的主要原因为：全球集成电路行业进入下行周期，下游终端如智能手机、电脑等消费电子需求疲软，供应链持续调整库存。

据悉，瑞红苏州在今年2月16日正式登陆新三板。公司的i线光刻胶产品规模化向中芯国际、合肥长鑫、华虹半导体、晶合集成等国内知名半导体企业供货；KrF高端光刻胶部分品种已量产；ArF高端光刻胶研发工作正进行中。截止报告期末公司拥有30项国内专利，其中发明专利19项。

今年4月，徐州博康（华懋科技、华为哈勃控股）对外公布超6亿元融资顺利完成交割。新资金的注入将助力徐州博康加快推进在光刻胶全产业链自主创新技术的持续研发和产能布局，也为进一步打造徐州博康平台型精细化工企业提供了资金保障。

目前，公司有多款高端光刻胶产品分别获得了国内12寸晶圆厂的相关订单，包括ArF-immersion产品及ArF-dry，KrF，I-line等。其中，ArF-immersion产品已经适用于45nm-28nm制程。具体分品类来看——

（1）ArF光刻胶有26款产品，9款ArF-immersion及ArF-dry光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产，品种类涵盖55nm、40nm、28nm及以下的关键层工艺。

（2）KrF光刻胶有30款产品，20余款KrF光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产。

（3）I线光刻胶有15款产品，10多款I线光刻胶正在客户端进行产品验证导入量产。

（4）电子束光刻胶有3大种类，为PMMA、PHS和HSQ体系，已为数十家企业和高校提供标准化、定制化的电子束光刻胶产品。

报告期内，上海新阳实现营业收入 亿元，较去年同期略有增长；实现归属于上市公司股东的净利润为8,681万元，同比增长776%。公司半导体行业实现营业收入 亿元，同比增长 %，集成电路制造用关键工艺材料系列产品收入稳定增长。

报告期内，光刻胶系列产品已实现营业收入超百万元。其中，光刻胶项目研发进展比较顺利，I线、KrF光刻胶产品已在超20家客户端提供样品进行测试验证。ArF浸没式光刻胶的研发进展也比较顺利，已在国内多家晶圆制造企业开展测试验证工作。同时，原料树脂的合成方案探索、工艺优化、稳定性等方面都取得突破。

今年2月，上海新阳发布公告表示，拟亿投建光刻胶等集成电路关键工艺材料项目，预计年产500吨I线、KrF、ArF 干/湿法光刻胶等产品。项目拟于2023年取得施工许可证，2025年底前竣工，2026年6月底前投产。

南大光电今年一季度扭转了去年第四季度业绩下跌的趋势；二季度营业收入、净利润均实现环比增长。今年上半年整体实现归属于上市公司股东的净利润15, 万元，较上年同增长%。

南大光电表示，公司在光刻胶技术研发方面始终坚持完全自主化路线。控股子公司宁波南大光电的光刻胶研发中心具备了研制功能单体、功能树脂、光敏剂等光刻胶材料的能力，能够实现从光刻胶原材料到光刻胶产品及配套材料的全部自主化。

来源：南大光电

目前研发的产品已在下游客户存储芯片50nm和逻辑芯片55nm技术节点上通过认证，多款产品正在主要客户处认证，持续推动光刻胶及配套材料产品的研发和产业化。

2023年上半年，雅克科技实现营业收入232,万元，与上年同期相比增长%；实现归属于上市公司股东的净利润为34,万元，同比增长%。

报告期内，雅克科技光刻胶业务发展势头强劲，客户涵盖包括京东方、华星光电、惠科等国内主要面板制造商，产品销量和市场占有率不断得到提升。公司自主研发的OLED用低温RGB光刻胶、CMOS传感器用RGB光刻胶、先进封装RDL层用l-Line光刻胶等产品正按计划在客户端测试，进程顺利。

另据雅克科技5月在投资者互动平台的回复显示：公司的半导体制程光刻胶研发工作按计划推进中。此外，新一代电子信息材料国产化项目-光刻胶及光刻胶配套试剂项目预计将于2023年9月达到可使用状态。

2023年上半年，飞凯材料受国内经济内生动能不足、市场需求疲弱、电子消费降级等影响，实现营业收入131,万元，较去年同期比较下降%；实现归属于上市公司股东的净利润17,万元，较去年同期减少%。

报告期内，公司进一步拓展了底部抗反射层产品（BARC）的市场，且向市场推出了新一代光引发剂产品（TMO）。

在光刻胶产品方面，公司I-line光刻胶和248nm光刻胶抗反射层材料已实现部分客户量产，将进一步提升公司半导体光刻胶的竞争力。同时，公司前期建设项目5000t/aTFT-LCD光刻胶项目和5500t/a合成新材料项目已向客户稳定供货。

另据近期采访显示，飞凯材料透露未来将会把重点放在光刻胶抗反射层及下层材料方向上。